Ниво на чистота на воздухот (N) | Максимална граница на концентрација на честички поголема или еднаква на означената големина на честички (број на воздушни честички/m3) | |||||
0,1 мм | 0,2 мм | 0,3 мм | 0,5 мм | 1,0 мм | 5,0 мм | |
ISO Класа 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Класа 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Класа 3 | 1.000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Класа 4 | 10.000 | 2.370 | 1.020 | 352 | 83 | |
ISO Класа 5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 |
ISO Класа 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 |
ISO Класа 7 | 352.000 | 83.200 | 2.930 | |||
ISO Класа 8 | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | |||
ISO Класа 9 | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 |
ЕЕЗ/M≥0,5um | ISO 14644-1 (1999) | US 209E(1992) | US 209D(1988) | ЕЕЗ cGMP (1989) | ФРАНЦИЈА АФНОР (1981) | ГЕРМАНИЈА VDI 2083(1990) | ЈАПОНИЈА ЈАОА (1989) |
1 | - | - | - | - | - | - | - |
3.5 | 2 | - | - | - | - | 0 | 2 |
10.0 | - | M1 | - | - | - | - | - |
35.3 | 3 | М1.5 | 1 | - | - | 1 | 3 |
100 | - | M2 | - | - | - | - | - |
353 | 4 | М2.5 | 10 | - | - | 2 | 4 |
1.000 | - | M3 | - | - | - | - | - |
3.530 | 5 | М3.5 | 100 | А+Б | 4.000 | 3 | 5 |
10.000 | - | M4 | - | - | - | - | - |
35.300 | 6 | М4.5 | 1.000 | 1.000 | - | 4 | 6 |
100.000 | - | M5 | - | - | - | - | - |
353.000 | 7 | М5.5 | 10.000 | C | 400.000 | 5 | 7 |
1.000.000 | - | M6 | - | - | - | - | - |
3.530.000 | 8 | М6.5 | 100.000 | D | 4.000.000 | 6 | 8 |
10.000.000 | - | M7 | - | - | - | - | - |